金融界2025年4月21日消息,国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体热处理设备”的专利,公开号CN119852215A配资app排行:,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本发明公开一种半导体热处理设备,所公开的半导体热处理设备包括工艺内管、工艺外管、安装座、进气结构和排气结构;工艺内管的第一端和工艺内管的第二端均为开口,工艺内管限定的区域形成有反应空间;工艺外管的第一端为开口结构,工艺外管的第二端为封闭结构,工艺外管套设于工艺内管之外,且工艺内管与工艺外管之间形成环形进气腔;安装座为环形结构,工艺内管的第一端和工艺外管的第一端均与安装座密封连接,工艺内管的第二端与工艺外管的第二端的内壁之间具有间隙,进气结构通过进气口与环形进气腔连通。上述方案可以解决相关技术中的半导体热处理设备在对工艺物料进行工艺时存在工艺气体与工艺物料接触不充分的问题。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1018次,财产线索方面有商标信息45条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
本文源自:金融界
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